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- 2026-07-22 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119615147A
(43)申请公布日2025.03.14
(21)申请号202411752279.9
(22)申请日2024.12.02
(71)申请人浙江大学高端装备研究院
地址311106浙江省杭州市余杭区兴国路
503号5幢103室
(72)发明人俞皓捷谢海波杨华勇丁红钦
王琮瑜谢翰斌徐心睿祝毅
(74)专利代理机构杭州求是专利事务所有限公
司33200
专利代理师贾玉霞
(51)Int.Cl.
C23C24/10(2006.01)
权利要求书2页说明书6页附图6页
(5
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