集成电路电子设计自动化工具 曲线掩模数据存储格式标准化发展研究报告.docx

集成电路电子设计自动化工具曲线掩模数据存储格式标准化发展报告

StandardizationDevelopmentReportforCurvilinearMaskDataStorageFormatinIntegratedCircuitElectronicDesignAutomationTools

摘要

随着集成电路制造工艺不断向先进制程演进，传统基于曼哈顿几何的掩模数据存储格式已难以满足高精度光刻与电子束直写等制造环节的需求。曲线掩模技术作为突破传统矩形和45度角限制的新型掩模设计方法，其数据存储格式的标准化成为提升集成电路电子设计自动化（EDA）工具链效率与互操作性的关键环节。本报告围绕《集成电路电子设计自动化工具曲线掩模数据存储格式》行业标准（计划编号：2026-0096T-SJ）的制定工作，系统梳理了该标准的研究背景、技术架构与核心内容。报告指出，该标准基于国际半导体产业对曲线掩模数据格式的共性需求，结合我国EDA产业发展现状，规定了曲线掩模数据的存储结构、几何表达方式、层级关系及元数据规范。标准采用推荐性行业标准形式，由全国集成电路标准化技术委员会归口管理，计划制定周期为12个月。本报告深入分析了标准的主要技术内容，包括曲线基元的定义、拓扑关系编码、数据压缩机制及与现有格式的兼容性设计，并详细介绍主要起草单位全芯智造技术有限公司在标准研制