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演讲人：xxx

MEMS与传感器万物感知产业爆发

教师节

9月10号

时间：202X.3.10

MEMS与传感器概述

PART01

微机电系统基本概念

微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构等为一体的微型系统，它融合多种技术，尺寸微小却能实现复杂功能，在多领域有重要应用。

MEMS制造工艺特点

MEMS制造工艺具有高精度、可批量生产、与集成电路工艺兼容等特点，能实现微小结构的精确加工，降低成本并提高生产效率。

MEMS工作机制原理

MEMS工作基于物理、化学等原理，通过微结构感知外界信号，经转换处理后输出，利用微机械结构的运动或特性实现特定功能。

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