2025年机械设计（第9版）考研真题汇编——微机电系统设计基础考核试卷.docVIP

2025年机械设计（第9版）考研真题汇编——微机电系统设计基础考核试卷

一、单项选择题（每题1分，共30分）

1.微机电系统（MEMS）中，常用的材料是（B）。

A.陶瓷

B.单晶硅

C.钢铁

D.铝合金

2.在微机电系统中，用于制造微小结构的工艺是（A）。

A.光刻技术

B.焊接技术

C.钻孔技术

D.冲压技术

3.微机电系统中，常用的传感器类型是（C）。

A.温度传感器

B.压力传感器

C.加速度传感器

D.光传感器

4.微机电系统中，常用的执行器类型是（B）。

A.电机

B.驱动器

C.传感器

D.控制器

5.微机电系统的尺寸通常在（D）范围内。

A.1-10mm

B.10-100mm