CN119650466A 硅片清洗设备及其清洗方法 （无锡釜川科技股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119650466A

(43)申请公布日2025.03.18

(21)申请号202411769051.0

(22)申请日2024.12.04

(71)申请人无锡釜川科技股份有限公司

地址214194江苏省无锡市锡山区锡北镇

锡港路张泾东段209号

(72)发明人王学卫蓝淋鱼科军

(74)专利代理机构常州至善至诚专利代理事务

所(普通合伙)32409

专利代理师吴彬青

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

H01L21/68(2006.01)

H01L21/02(2006.01)

B08B3/04(2006.01)