特气柜市场调研报告：CAGR6.8%背后的机遇与挑战.docxVIP

全球市场研究报告

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特气柜（GC）作为现代工业气体供应领域的关键设备，其核心功能在于实现气体的密闭式安全储存与不间断输送，因此也被称作气体输送系统（Gasdeliverysystem）。

该系统专为易燃易爆、强腐蚀性、高毒性等特种气体设计，旨在确保气体在储存、输送及使用全过程中的绝对安全，并满足工业生产对气体供应连续性和稳定性的严苛需求。它具备自动吹扫功能，可定期对气体管路进行清洁，有效防止气体交叉污染、保障气体纯度；同时，自动切换功能确保在主供气源出现故障时，能迅速、平稳地切换至备用气源，维持生产流程连续；尤为重要的是，其配备的紧急自动安全切断机制，能在检测到气体泄漏、压力异常等安全隐患时，立即启动安全切断程序，隔离故障区域，为人员安全和生产设施提供坚实保障，成为众多行业特种气体供应中不可或缺的重要组成部分。

从功能上看，特气柜位于特种气体气源端与工艺机台端之间，将高纯、易燃、易爆、有毒、腐蚀性或强氧化性的特种气体，以受控、安全、稳定、洁净的方式输送至下游工艺设备。在半导体制造中，特气柜广泛服务于CVD、ALD、刻蚀、扩散、离子注入、外延、清洗、掺杂等工艺环节，是晶圆厂高纯工艺介质系统的重要组成部分。

特气柜图片

QYResearch调研显示，2025年全球特气柜市场规模大约为100