微机电系统（MEMS）技术 高深宽比微结构深度光谱反射测量法.pdfVIP

《高深宽比微结构深度光谱反射测量法》

国家标准报批稿编制说明

一、工作简况

1.任务来源

《高深宽比微结构深度光谱反射测量法》来源于国家标准化管理委

员会，项目编号Z-469。由全国微机电技术标准化技术委员会

提出并归口，主要起草单位：中国科学院微电子研究所、天津大学、中机

生产力促进中心有限公司、北京大学，中国电子科技集团第四十九研究

所、中北大学等。计划应完成时间2025年10月。

2.主要工作过程

起草（草案、调研）阶段：从2025年1月开始，全国微机电技术标

准化技术委员会（以下简称标委会）一直在积极组织开展MEMS高深宽

比微结构深度光谱反射测量法标准化相关的研究工作，成立了由中机生

产力促进中心有限公司、中国科学院微电子研究所等单位组成的标准起

草工作组（以下简称工作组），并先后召开了多次标准研讨会，编制形成

了标准草案稿和立项建议书。计划下达后，标委会印发了《关于征集

MEMS高深宽