精细陶瓷（高级陶瓷、高级工业陶瓷）GaN晶体表面缺陷试验方法第1部分缺陷分类标准立项发展报告.docxVIP

精细陶瓷（高级陶瓷、高级工业陶瓷）GaN晶体表面缺陷试验方法第1部分：缺陷分类标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Fineceramics(advancedceramics,advancedtechnicalceramics)—TestmethodforGaNcrystalsurfacedefects—Part1:Classificationofdefects

摘要

关键词

精细陶瓷；氮化镓（GaN）；晶体表面缺陷；缺陷分类；试验方法；国际标准；ISO5618-1:2023；第三代半导体

Keywords:Fineceramics;GalliumNitride(GaN);Crystalsurfacedefects;Defectclassification;Testmethod;Internationalstandard;ISO5618-1:2023;Third-generationsemiconductor

正文

1.引言

GaN晶体的表面质量是评价其品质的首要指标。任何微小的表面缺陷，如位错、裂纹、表面颗粒或划痕，不仅可能降低器件的发光效率，更会成为漏电流通道、热击穿点或器件失效的源头。长期以来，行业内各生产商、研究机构及终端用户对缺陷的定义、分