原创力文档创新型光栅传感器读数方法设计
【摘要】光栅测量技术是制造工业中（机床工业）应用最为广泛的几何量
测试技术。基于莫尔条纹的光栅测量方法已经有上百年的历史了，随着现代超精
密加工技术、微电子技术的进步，基于莫尔条纹的光栅读数方法已经可达亚微米
精度，但是如果要实现更高精度的测量，莫尔条纹光栅读数方法目前面临着诸多
瓶颈问题。结合现代光电技术的最新成果，开展光栅新型读数方法研究，对于推
动光栅测量技术进步，发展现代光电信息产业具有推动作用。
【关键词】DVD激光头；光栅；莫尔条纹；纳米测量
0.引言
创新型光栅传感器读数方法设计
【摘要】光栅测量技术是制造工业中（机床工业）应用最为广泛的几何量
测试技术。基于莫尔条纹的光栅测量方法已经有上百年的历史了，随着现代超精
密加工技术、微电子技术的进步，基于莫尔条纹的光栅读数方法已经可达亚微米
精度，但是如果要实现更高精度的测量，莫尔条纹光栅读数方法目前面临着诸多
瓶颈问题。结合现代光电技术的最新成果，开展光栅新型读数方法研究，对于推
动光栅测量技术进步，发展现代光电信息产业具有推动作用。
【关键词】DVD激光头；光栅；莫尔条纹；纳米测量
0.引言
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