真空技术测量真空泵性能的标准方法第6部分低温真空泵标准立项发展报告.docx

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真空技术测量真空泵性能的标准方法第6部分：低温真空泵标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Vacuumtechnology—Standardmethodsformeasuringvacuum-pumpperformance—Part6:Cryogenicvacuumpumps

摘要

随着半导体制造、薄膜沉积、空间模拟以及大科学装置（如粒子加速器、受控核聚变装置）等尖端技术的快速发展，对极限真空度和洁净无油真空环境的需求日益严苛。低温真空泵以其能获得极高真空、无油蒸汽污染、抽速大等独特优势，已成为上述领域不可