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- 2026-07-24 发布于河南
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ICS71.080.60
CCSG17
CAQI
中国质量检验协会团体标准
T/CAQIXXXX—XXXX
半导体光刻胶用高纯溶剂丙二醇甲醚醋酸
酯技术规范
Technicalspecificationforhigh-puritysolventPGMEAforsemiconductor
photoresist
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