《半导体光刻胶用高纯溶剂丙二醇甲醚醋酸酯技术规范》.pdfVIP

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  • 2026-07-24 发布于河南
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《半导体光刻胶用高纯溶剂丙二醇甲醚醋酸酯技术规范》.pdf

ICS71.080.60

CCSG17

CAQI

中国质量检验协会团体标准

T/CAQIXXXX—XXXX

半导体光刻胶用高纯溶剂丙二醇甲醚醋酸

酯技术规范

Technicalspecificationforhigh-puritysolventPGMEAforsemiconductor

photoresist

(征求意见稿)

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XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

中国质量检验协会  发布

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