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—36—胸门1993年第1期

TiC徐复试样的增重理由不能用X射线衍射分析来解释。

4.结论

(1)用改进的等离子CVD在AJSJ403和司太立包复AISJ316L基体上沉积了Al?Os/TiN/TiC、Al?O?/TiC和/TiN/TiC多层膜。

(2)多层涂复AIST403试样在超声波汽蚀浸蚀试验中显示出优异的耐浸蚀性。但是，对于司太立包复基体，多层膜只有轻微的影响。

(3)测定了Al?O?/TiN/TiC多层膜的耐擦伤性。试验期间未发生擦伤或泄漏。摩擦系数

μ稍大于司太立合金。但是，该μ值是低的，足以满足要求(μ0.5的值)。

(4)在高温水中进行了腐蚀试验，没有发现钴、钛或铝溶解于试验溶液，但所有试样均有轻微增重。X射线衍射表明，Al?O?的表面变成A10(OH)。多层涂复试样的总溶解钴量小于未涂试样的1%。

机电部合肥通用所蒋修治

译自《SurfaceandCoatingsTechnology》,49(1991)

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