V3000宏观缺陷审查系统：集成宏观与微观晶圆检测解决方案.pdfVIP

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V3000宏观系统

创新的宏观和微观晶圆检测

优势

在一个系统上完成宏观和微观晶圆检测系统可配置多达六种不同的光源，几

乎可以捕捉到所有宏观晶圆强大的数据库管理软件，可用于晶圆和分析

完美的工程学设计减少了操作员的疲劳

特性

适用于50毫米至300毫米晶圆的高级系统标配

DM8000显微镜自动图像捕获高速电动载物台双

盒装载前后晶圆检测高通量机器人，配备双末端

执行器盒图映射基于PC的Windows界面。CE标志

选项

背面检测双尺寸桥接晶圆

对准SECS/GEM合规性联

系CD获取选项

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V3000MacroscopeDefectReviewSystem

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