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面向等离子体科学的全固态高频高压脉冲电源拓扑与多模调制设计

摘要

等离子体技术在材料改性、生物医学及环境治理等领域应用广泛，其核心挑战在于电源系统须在不同放电阶段提供精确可控的高压脉冲。

现有方案多采用传统火花隙或电子管结构，存在寿命短、频率受限、波形调节不灵活等痛点，难以满足精细化的工艺控制需求。

本课题以全固态高频高压脉冲电源为研究对象，设计了一种基于Marx电路与全桥变换器耦合的新型拓扑，并提出多模频率与脉宽复合调制策略。

全文按工程递进思路组织：第一章分析等离子体电源的现实需求与现有不足，明确设计目标；第二章阐述Marx发生器、全桥变换器及调制技术的理论基础与选型依据；第三章从功能与非功能角度细化系统需求，建立用例模型；第四章进行总体架构设计，划分高压充电、Marx脉冲形成、全桥耦合整形及控制保护四大模块；第五章深入详细设计，给出核心电路参数计算、多模调制算法流程与接口定义；第六章展示关键实现过程与典型波形；第七章通过功能与性能测试验证系统指标；最后总结创新点与不足。

本设计首次将Marx与全桥耦合级联并融入脉冲频率调制（PFM）与脉冲宽度调制（PWM）复合控制，实现纳秒级上升沿与微秒级脉冲宽度的独立调节，为等离子体多模式放电提供一体化电源解决方案。

第一章绪论

1.1研究背景

低温等离子体技术已在表面处理、薄膜沉积、消毒灭菌等领域展现出巨大的应用潜力