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半导体失效分析.docx

半导体失效分析.docx

    半导体失效分析

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目概述 3

    二、失效分析目标 4

    三、分析范围与对象 5

    四、样品接收与登记 9

    五、分析流程设计 11

    六、外观检查方法 14

    七、无损检测方法 15

    八、开封与制样规范 17

    九、显微观察方案 20

    十、截面分析 22

    十一、成分分析 25

    十二、电性能测试方案 28

    十三、热性能测试方案 30

    十四、应力分析 32

    十五、污染物分析 35

    十六、缺陷定位方法 37

    十七、失效机理判断 39

    十八、风险评估方法 40

    十九、验证与复测方案 42

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