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工艺与制造ProcessandFabrication

工艺与制造

防止IGBT测试短路烧针的改进方法研究

方园

（上海先进半导体制造股份有限公司，上海200233）

摘要：绝缘栅双极型晶体管（IGBT）是一种混合型电力电子器件，具有工作频率高、驱动电路简单、电流大、电压高、耐用等优点，广泛应用于工业控制、智能电网、轨道交通以及家电等领域。为提高封装阶段的成品率，晶圆代工厂大都会进行硅片级的静态参数测试，而在测试过程中，测试针卡（probe）有时会因硅片生产过程中引入的缺陷导致的短路而烧毁。通过对测试程序的优化，从根本上消除了测试过程中烧毁针卡的可能性。

关键词：集成电路制