晶圆级NBTI测试结构 .pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN102543955A

(43)申请公布日2012.07.04

(21)申请号CN201010578103.8

(22)申请日2010.12.08

(71)申请人无锡华润上华科技有限公司

地址214028江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新

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