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半导体制造工艺升级制度.docx

半导体制造工艺升级制度.docx

    半导体制造工艺升级制度

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、定义与范围 5

    三、升级原则 7

    四、组织职责 9

    五、升级分类 12

    六、升级触发条件 15

    七、升级目标设定 17

    八、方案论证 21

    九、风险评估 23

    十、验证要求 25

    十一、试产管理 27

    十二、量产切换 29

    十三、变更控制 31

    十四、文件管理 34

    十五、设备适配 36

    十六、工艺参数管理 38

    十七、质量监控 39

    十八、异常处置 40

    十九、培训要求 42

    二十、审批流程 43

    二十一、评审机制 46

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