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微型光纤布拉格光栅传感器解调结题报告

一、项目概述

微型光纤布拉格光栅（FBG）传感器解调技术是当前光纤传感领域的研究热点之一，其核心在于实现对FBG传感器反射波长偏移量的高精度、快速、稳定检测。本项目针对传统解调系统体积大、功耗高、成本昂贵等问题，开展了微型化FBG传感器解调技术的研究与开发，旨在突破关键技术瓶颈，研制出兼具高性能与小型化的解调系统，满足航空航天、土木工程、生物医学等领域对分布式、多参数、高灵敏度传感的需求。

项目实施周期为[具体周期]，由[项目承担单位]牵头，联合[合作单位]共同完成。项目团队由光学工程、微电子、信号处理等多领域专业人员组成，通过理论分析、仿真建模、硬件设计、软件算法优化及系统集成测试等环节，完成了预定的研究目标，取得了一系列创新性成果。

二、关键技术研究与突破

（一）微型化光学解调模块设计

传统FBG解调系统通常采用大型光谱仪或扫描式光学结构，体积庞大且难以实现现场部署。本项目创新性地提出了基于微机电系统（MEMS）技术的微型化光学解调方案，通过集成化设计将光学元件、探测器及信号处理单元压缩至厘米级尺度。

MEMS可调谐滤波器技术：项目团队成功研制出一种基于静电驱动的MEMSFabry-Perot（F-P）可调谐滤波器，其谐振腔长度可在100nm范围内实现高精度调节，调谐分辨率达到0.1pm。该滤波器采用硅基加工工艺，与CMOS工艺兼容，可实