CN119828609A 循环液供给装置及其液位调控方法、温控系统、集成电路工艺制程系统 (北京京仪自动化装备技术股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-07-29 发布于重庆
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CN119828609A 循环液供给装置及其液位调控方法、温控系统、集成电路工艺制程系统 (北京京仪自动化装备技术股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119828609A

(43)申请公布日2025.04.15

(21)申请号202411746644.5

(22)申请日2024.11.29

(71)申请人北京京仪自动化装备技术股份有限

公司

地址100176北京市大兴区经济技术开发

区凉水河二街8号院14号楼A座

(72)发明人冯涛董春辉孙硕崔岳强

刘紫阳王晓波鲁元进何茂栋

芮守祯曹小康

(74)专利代理机构北京乾成律信知识产权代理

有限公司11927

专利代理师李昕巍姚志远

(51)Int.Cl.

G05B19/418(2006.01)

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