CN119542218A 一种SiC外延衬底传送方法 （上海大族富创得科技股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119542218A

(43)申请公布日2025.02.28

(21)申请号202411737275.3H01L21/66(2006.01)

(22)申请日2024.11.29

(71)申请人上海大族富创得科技股份有限公司

地址201112上海市闵行区万芳路555号1

幢1层102室、2层202室

申请人浙江大族富创得科技有限公司

(72)发明人王俊森李博肖志成刘思远

(74)专利代理机构重庆商贝知识产权代理事务

所(普通合伙)50323

专利代理师龙钰

(51)Int.Cl.

H01L21/677(2006.01)