CN119594868A 一种绒面硅衬底上薄膜厚度测量方法及设备 (深圳市镀量恒科技有限公司).pdfVIP

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  • 2026-07-30 发布于重庆
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CN119594868A 一种绒面硅衬底上薄膜厚度测量方法及设备 (深圳市镀量恒科技有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119594868A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202411744025.2

(22)申请日2024.11.30

(71)申请人深圳市镀量恒科技有限公司

地址518048广东省深圳市福田区沙头街

道天安社区深南大道6013号中国有色

大厦1804S15

(72)发明人刘壮崔骏熊强

(74)专利代理机构深圳维启专利代理有限公司

44827

专利代理师蔡晓忠

(51)Int.Cl.

G01B11/06(2006.01)

H01L21/66(2006.01)

权利要求书3

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