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半导体车间洁净管理制度.docx

半导体车间洁净管理制度.docx

    半导体车间洁净管理制度

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、适用范围 10

    三、术语与定义 10

    四、组织职责 19

    五、洁净等级要求 20

    六、人员准入管理 22

    七、人员行为规范 26

    八、换装与着装要求 28

    九、物料进入管理 30

    十、设备进入管理 33

    十一、工器具管理 34

    十二、空气洁净控制 37

    十三、温湿度控制 40

    十四、压差控制 42

    十五、微粒控制 43

    十六、微生物控制 45

    十七、清洁消毒管理 48

    十八、废弃物管理 50

    十九、生产过程管控 52

    二十、异常

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