不同粒径核壳结构聚苯乙烯（PS）-CeO_2复合磨料的制备、表征及其化学机械抛光性能.docx

2011年7月Jul.2011第21卷第7期Vol.21

2011年7月

Jul.2011

第21卷第7期

Vol.21No.7

TheChineseJournalofNonferrousMetals

文章编号：1004-0609(2011)07-1777-08

不同粒径核壳结构聚苯乙烯(PS)-CeO?复合磨料的制备、表征及其化学机械抛光性能

陆锦霞1,陈志刚1,2,隆仁伟

(1.常州大学材料科学与工程学院，常州213164;2.苏州科技学院化学与生物工程学院，苏州215011)

摘要：以无皂乳液聚合法制备的不同粒径聚苯乙烯(Ploystrene,PS)微球为内