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- 2026-07-31 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119897774A
(43)申请公布日2025.04.29
(21)申请号202510388126.9B24B1/00(2006.01)
(22)申请日2025.03.28
(71)申请人浙江求是半导体设备有限公司
地址311100浙江省杭州市临平区临平街
道顺达路500号1幢102室
申请人浙江晶盛创芯半导体设备有限公司
(72)发明人朱亮李阳健赵志鹏先泽文
郭星来
(74)专利代理机构杭州钤韬知识产权代理事务
所(普通合伙)33329
专利代理师杨杰
(51)Int.Cl.
B24B9/06(200
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