洁净车间洁净度控制方案
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 3
二、工程范围与目标 4
三、洁净度控制原则 6
四、组织架构与职责 8
五、洁净区分级管理 13
六、施工现场分区控制 16
七、人员洁净管理 18
八、材料进场洁净控制 21
九、设备搬运与安装控制 24
十、施工工序洁净控制 27
十一、临时围护与密封管理 28
十二、空气洁净控制措施 30
十三、压差控制措施 33
十四、微粒监测控制 35
十五、微生物控制措施 37
十六、表面清洁与消毒 38
十七、工具与器具管理 40
十八、废弃
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