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椭偏测量 第2部分体材料模型标准立项发展报告.docx

椭偏测量 第2部分体材料模型标准立项发展报告.docx

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    椭偏测量第2部分:体材料模型标准立项发展报告

    StandardizationDevelopmentReport:Ellipsometry—Part2:Bulkmaterialmodel

    摘要

    关键词

    椭偏测量；体材料模型；国际标准；光学常数；数据互操作性；计量学；薄膜表征；ISO23131

    Keywords:Ellipsometry;BulkMaterialModel;InternationalStandard;OpticalConstants;DataInteroperability;Metrology;ThinFilmCharacter

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