TGV基板全球市场总体规模
TGV基板,即玻璃通孔(Through-GlassVia,缩写为TGV)基板,是一种具有垂直电气互连功能的玻璃基板。其核心特点有三:玻璃基材、通孔技术、金属化。
TGV是一种用于半导体封装和微电子设备等领域的微型化封装技术,是穿过玻璃基板的垂直电气互连。它以高品质硼硅玻璃、石英玻璃为基材,通过激光诱导、蚀刻、种子层溅射、电镀填充、化学机械平坦化、RDL、Bump工艺引出实现3D互联。TGV的直径通常为10μm-100μm,对于先进封装领域的各种应用,每片晶圆上通常需要数万个TGV通孔,并对其进行金属化处理,以确保所需的导电性能。
TGV基板具有优良的高频电学特
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