银微纳结构的光化学还原加工及调控研究.pdf

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摘要

摘要

银微纳结构凭借良好的导热、导电性能及催化活性,在微机电系统(MEMS)、

光电子器件以及柔性电子等领域已被广泛应用。目前,光刻结合蒸镀或刻蚀仍然

是银微纳加工制造的主要方法。但是,这种加工方法过程繁琐,光刻掩模版的定

制加工成本较高,不利于银微纳结构的灵活制造。需要发展一种工艺简便、成本

低廉且灵活高效的银微纳结构加工新方法,特别是结合银等金属微纳结构来实现

更广泛的应用。聚二甲基硅氧烷(PDMS)因其耐化学腐蚀性和良好

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