CN119916189A 晶圆的测试方法、装置和存储介质 （杭州广立测试设备有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119916189A

(43)申请公布日2025.05.02

(21)申请号202510406576.6

(22)申请日2025.04.02

(71)申请人杭州广立测试设备有限公司

地址310012浙江省杭州市西湖区西斗门

路3号天堂软件园A幢1楼1106室

(72)发明人王闯王弘

(74)专利代理机构北京超凡宏宇知识产权代理

有限公司11463

专利代理师曹延鹏

(51)Int.Cl.

G01R31/28(2006.01)

H01L21/66(2006.01)

H01L21/67(2006.01)