原创力文档几何产品规范（GPS）表面纹理:面积第603部分:非接触（相移干涉测量）仪器的设计和特性标准立项发展报告
StandardizationDevelopmentReport:Geometricalproductspecifications(GPS)—Surfacetexture:Areal—Part603:Designandcharacteristicsofnon-contact(phaseshiftinginterferometry)instruments
摘要
本报告围绕国际标准ISO25178-603:2025《几何产品规范（GPS）
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