【北京XXX半导体有限公司】
半导体行业FAB厂
设备安全验收管理制度
及分阶段验收表
文件编号
版本/修订
编制部门
批准人
实施日期
第PAGE页共NUMPAGES页
文件审批与修订记录
环节
部门/岗位
姓名
日期
签字
编制
设备管理部门/EHS部门
审核
工艺、厂务、质量、消防、信息化等部门
会签
使用部门/项目部门
批准
分管负责人
版本
修订日期
修订章节
修订内容摘要
批准人
A/0
____年__月__日
首次发布
建立FAB设备分阶段安全验收要求及配套表单
目录
正文
一、总则 4
二、适用范围 5
三、编制依据 5
四、术语和定义 7
五、职责分工
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