半导体FAB厂设备安全验收制度及分阶段验收表.docx

半导体FAB厂设备安全验收制度及分阶段验收表.docx

【北京XXX半导体有限公司】

半导体行业FAB厂

设备安全验收管理制度

及分阶段验收表

文件编号

版本/修订

编制部门

批准人

实施日期

第PAGE页共NUMPAGES页

文件审批与修订记录

环节

部门/岗位

姓名

日期

签字

编制

设备管理部门/EHS部门

审核

工艺、厂务、质量、消防、信息化等部门

会签

使用部门/项目部门

批准

分管负责人

版本

修订日期

修订章节

修订内容摘要

批准人

A/0

____年__月__日

首次发布

建立FAB设备分阶段安全验收要求及配套表单

目录

正文

一、总则 4

二、适用范围 5

三、编制依据 5

四、术语和定义 7

五、职责分工

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档