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- 2026-08-03 发布于江西
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第44卷
第10期真空科学与技术学报
2024
年
10
月CHINESE
JOURNAL
OF
VACUUM
SCIENCE
AND
TECHNOLOGY853
基于可视化的真空镀膜装备TBT竞争技术分析
1,4*234
叶俊文黎子辉李晓刚万雨龙
(1.
中山市深中标准质量研究中心
中山
528402;2.
华南理工大学
广州
510641;
3.
中山凯旋真空科技股份有限公司
中山
528478;4.
广东省中山市质量技术监督标准与编码所
中山
528403)
DataVisualA
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