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  • 2026-08-03 发布于江西
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基于可视化的真空镀膜装备TBT竞争技术分析.pdf

第44卷

第10期真空科学与技术学报

2024

10

月CHINESE

JOURNAL

OF

VACUUM

SCIENCE

AND

TECHNOLOGY853

基于可视化的真空镀膜装备TBT竞争技术分析

1,4*234

叶俊文黎子辉李晓刚万雨龙

(1.

中山市深中标准质量研究中心

中山

528402;2.

华南理工大学

广州

510641;

3.

中山凯旋真空科技股份有限公司

中山

528478;4.

广东省中山市质量技术监督标准与编码所

中山

528403)

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