模块化多级气体微泵设计与性能测试.pdfVIP

模块化堆叠可变压缩比多级气体微泵

A.加扎兹1,A.贝沙拉蒂安1,L.P.伯纳尔2,和K.纳贾菲1

1无线集成微传感与系统（WIMS2）

密歇根大学，安娜堡，密歇根州，

2工程系，密歇根大学，安娜堡，密歇根州，

我们报告了一种新的“堆叠式”多级静电气体微泵的设计、制造和测试。利用堆叠结构

了模块化，并且可以在制造后改变泵送阶段的数量，以达到特定应用所需的压强。堆叠设计

还消除了泵送膜需要双向移动的需求。新设计了一种新颖的方法来调整给定阶段的体积

比，以实现多级系统中各个阶段的均匀压强增加。一个3级堆叠微泵获得了1.1千帕的压差和

85μ升/分钟的空气流量。每个单独的微泵阶段为5.5×4×0.5毫米³，每个泵送/微阀膜为

2×2毫米²。

气体微泵，蠕动式，多级，模块化设备组装，可变压缩比，堆叠静电微泵，主动微

阀

引言

气体微型泵是许多新兴设备的关键组件，如手持环境和健康系统、呼吸分析仪、气体

传感器、质谱仪、气相色谱（μGC）系统，以及其他一些（LOC）设备。在所

有这些应用中，尺寸、重量、功耗

MODULARSTACKEDVARIABLE-COMPRESSIONRATIOMULTI-STAGE

GASMICROPUMP

A.