GBT 30858-2025 蓝宝石单晶衬底抛光片标准立项发展报告.docx

蓝宝石单晶衬底抛光片标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:PolishedSlicesofMonocrystallineSapphireSubstrate

摘要

关键词：蓝宝石单晶衬底抛光片；半导体材料；标准修订；表面质量；晶向偏差；产业应用

Keywords:polishedslicesofmonocrystallinesapphiresubstrate;semiconductormaterials;standardrevision;surfacequality;crystallographicorientationdeviation;industrialapplication

1引言

1.1研究背景

蓝宝石（α-Al?O?单晶）凭借其优异的机械强度、化学稳定性、透光性能及电绝缘特性，长期以来是LED照明与显示领域最为广泛应用的衬底材料。近年来，随着氮化镓（GaN）基功率电子器件、射频通信器件及Micro-LED新型显示技术的加速产业化，蓝宝石单晶衬底抛光片的应用版图正在从传统光电子领域向功率电子、5G/6G通信、新能源汽车等更高附加值市场拓展。衬底片的几何精度、亚表面损伤层深度、表面洁净度及晶格完整性对薄膜外延质量、器件可靠性和规模化制造成本具有决定性影响。

我国是全球最大的蓝宝