表面化学分析 基于束分析法的横向分辨和锐度测定的基本方法.pdfVIP

《表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光

电子能谱横向分辨率、分析面积和分析器

所能检测到的样品面积的测定》

国家标准编制说明书

标准起草组

2026年05月26日

《表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向辨

率、分析面积和分析器所能检测到的样品面积的测定》

编制说明

（征求意见稿）

1、工作简况

1.1任务来源

本标准依据国家标准化管理委员会文件国标委发〔2025〕43号文“国家标

准委关于下达2025年第七批推荐性国家标准计划及相关标准外文版计划的通

知”下达的修订任务，国家标准计划名称《表面化学分析俄歇电子能谱和X射

线光电子能谱横向分辨率、分析面积和分析器所能检测到的样品面积的测定》，

计划号为T-491，代替标准号：GB/T29556-2013，项目周期12个月，

由厦门爱劳德光电有限公司牵头负责修订。

1.2制定背景及起草人分工情况

表面分析技术，如SIM