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微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜研究.docx

微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜研究.docx

    第25卷第2期人工晶体学报Vol.25No.2

    1996年5月JOURNALOFSYNTHETICCRYSTALSMay,1996

    微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜研究*

    王建军吕反修于文秀佟玉梅

    (北京科技大学，北京100083)

    邬钦崇王守国

    (中国科学院等离子体物理研究所，合肥230031)

    提要：本文系统研究了

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