《微机械谐振器国内外研究现状文献综述》2100字.doc

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微机械谐振器国内外研究现状文献综述

1.1微机械谐振器的发展现状

1960年美国物理学家R.Feymann在美国加州理工大学的演讲中第一次提出MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystem，微机电系统）概念，1965年美国科学家H.C.Nathanson提出MEMS谐振器的概念［4］，2003年AaronPatridge博士和MarkusLutz博士集资创建MEMS谐振器公司SiTime,并于2006年用RobertBoschI艺制作了5.1MHz的MEMS谐振器，量产业界第一颗微机械谐振器，MEMS谐振器目前发展迅猛，逐