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洁净车间洁净度检测方案.docx

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    洁净车间洁净度检测方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、检测参照标准 9

    三、检测前准备工作 14

    四、检测工况要求 15

    五、检测仪器设备要求 19

    六、悬浮粒子浓度检测方法 21

    七、浮游菌浓度检测方法 23

    八、沉降菌浓度检测方法 24

    九、表面微生物检测方法 27

    十、风速与风量检测方法 29

    十一、静压差检测方法 32

    十二、温湿度检测方法 34

    十三、照度检测方法 36

    十四、噪声检测方法 38

    十五、高效过滤器检漏方法 40

    十六、检测点位布设原则 42

    十七、不同功能区检测要点

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