半导体行业安全风险告知卡(31 页).pptx

半导体行业安全风险告知卡(31 页).pptx

最新版风险告知卡

(半导体行业篇29个)

;洁净室生产区;特种气体站与气瓶间;大宗气体站;危险化学品仓库;化学品集中供应间;废气处理区;废水处理站;危险废物暂存间;变配电室;湿法清洗/刻蚀设备;光刻涂胶显影设备;扩散/氧化/退火炉;CVD/PVD/等离子刻蚀设备;离子注入设备;CMP设备;真空泵与尾气

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