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半导体芯片生产环保处理作业规范.docx

半导体芯片生产环保处理作业规范.docx

    半导体芯片生产环保处理作业规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、环保管理责任体系 5

    三、环保处理人员资质要求 8

    四、生产物料环保准入标准 11

    五、工艺废气分类收集规范 13

    六、工艺废气处理作业要求 21

    七、生产废水分类管控规范 23

    八、生产废水处理作业流程 25

    九、固废分类识别与存放要求 30

    十、危险固废转移处置规范 31

    十一、普通固废回收利用规范 34

    十二、化学品存储环保管控要求 36

    十三、化学品泄漏应急处置规范 38

    十四、生产设备环保运维要求 40

    十五、车间环境监测作业规范

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