原创力文档半导体芯片生产数据追溯管理规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 3
二、适用范围 8
三、术语与定义 10
四、管理基本原则 11
五、追溯体系总体要求 13
六、追溯数据范围界定 15
七、生产数据采集规范 17
八、产品标识编码规则 20
九、追溯数据存储管理 23
十、追溯数据传输要求 25
十一、晶圆制造环节追溯 28
十二、光刻工艺环节追溯 33
十三、薄膜沉积环节追溯 36
十四、离子注入环节追溯 39
十五、化学机械抛光环节追溯 41
十六、芯片封装环节追溯 43
十七、芯片测试环节追溯
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