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半导体芯片生产厂房建设施工规范.docx

半导体芯片生产厂房建设施工规范.docx

    半导体芯片生产厂房建设施工规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、场地选址与勘察要求 6

    三、厂房总体设计原则 9

    四、厂区功能分区布置规范 11

    五、洁净生产区设置要求 14

    六、非洁净生产区设置要求 16

    七、厂房建筑结构施工规范 18

    八、围护结构与密封施工要求 21

    九、地面与楼面施工规范 23

    十、墙面与吊顶施工规范 27

    十一、门窗安装施工规范 28

    十二、空气净化系统施工要求 31

    十三、工艺排风系统施工要求 33

    十四、纯水与废水系统施工要求 34

    十五、化学品供应系统施工规范 36

    十

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