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无结硅纳米线晶体管的基本工作原理概述

作为集成电路中最基本的器件，在复杂的逻辑电路中晶体管的功能就是通过控制沟道的开关实现最基本的二进制表达。晶体管分为反型模式M）、积累模式（AM）和无结模式（JNT），图2.1为三种器件的结构示意图（以N型为例）。反型器件为常关器件，其沟道与源漏区为不同类型的掺杂，无偏置时形成PN结，栅极施加正向偏压超过阈值电压时，沟道表面反型使晶体管导通。积累器件为常开器件，其沟道与源漏区为同类型掺杂，但沟道区为低掺杂，无偏置时晶体管可以导通，施加正向栅压使沟道表面能带达到积累状态使开态电流增加。不难看出，反型与积累模式的晶体管导通