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- 2026-08-06 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119181681A
(43)申请公布日2024.12.24
(21)申请号202411696422.7H01L21/56(2006.01)
(22)申请日2024.11.25
(71)申请人北京怀柔实验室
地址101400北京市怀柔区杨雁东一路8号
院5号楼319室
(72)发明人李超李浩赵波李文源郑超
马小杰李学宝金锐崔翔
赵志斌
(74)专利代理机构北京康信知识产权代理有限
责任公司11240
专利代理师张凌峰
(51)Int.Cl.
H01L23/48(2006.01)
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