半导体芯片封装工艺规范
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一、总则 3
二、适用范围 5
三、封装工艺总要求 7
四、晶圆来料检验要求 10
五、晶圆减薄工艺规范 12
六、晶圆切割工艺规范 14
七、芯片贴装工艺规范 18
八、引线键合工艺规范 19
九、塑封成型工艺规范 22
十、塑封后固化处理规范 24
十一、芯片打标工艺规范 26
十二、引脚电镀工艺规范 27
十三、引脚成形工艺规范 30
十四、切筋成型工艺规范 33
十五、封装件外观检验规范 36
十六、封装件电性能测试规范 39
十七、封装可靠性验证规
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