半导体芯片封装工艺规范.docx

半导体芯片封装工艺规范

目录TOC\o1-4\z\u

一、总则 3

二、适用范围 5

三、封装工艺总要求 7

四、晶圆来料检验要求 10

五、晶圆减薄工艺规范 12

六、晶圆切割工艺规范 14

七、芯片贴装工艺规范 18

八、引线键合工艺规范 19

九、塑封成型工艺规范 22

十、塑封后固化处理规范 24

十一、芯片打标工艺规范 26

十二、引脚电镀工艺规范 27

十三、引脚成形工艺规范 30

十四、切筋成型工艺规范 33

十五、封装件外观检验规范 36

十六、封装件电性能测试规范 39

十七、封装可靠性验证规

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