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半导体制造废水零排放方案.docx

半导体制造废水零排放方案.docx

    半导体制造废水零排放方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目总则 3

    二、废水水质特征分析 5

    三、零排放目标设定 9

    四、工艺路线总体设计 10

    五、预处理系统设计 13

    六、有机废水专项处理 16

    七、无机废水专项处理 18

    八、重金属废水深度处理 19

    九、高盐废水浓缩减量 21

    十、蒸发结晶系统配置 23

    十一、回用水系统搭建 25

    十二、浓盐水处置方案 29

    十三、污泥处理系统设计 31

    十四、废气收集处理方案 33

    十五、自动化控制架构 35

    十六、水质监测体系构建 37

    十七、节水减排管理机制

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