光刻机零部件研发协议.docxVIP

光刻机零部件研发协议

一、总则

（一）协议背景与目的

为推进光刻机关键零部件的技术研发，提升相关产品的性能与可靠性，明确合作双方在研发过程中的权利与义务，依据相关法律法规，经双方友好协商，特订立本协议。

（二）协议双方信息

甲方（委托方）：____________________

统一社会信用代码/身份证号：____________________

法定代表人/负责人：__________

联系地址：____________________

联系电话：____________________

乙方（研发方）：____________________

统一社会信用代码/身份证号：________