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前驱体通风系统运行规范

前驱体通风系统运行规范

一、运行参数监测与动态调节在前驱体通风系统规范执行中的核心地位

前驱体通风系统覆盖锂电三元前驱体合成、共沉淀反应、过滤洗涤、干燥破碎以及半导体ALD/CVD气态前驱体输送等多类场景，其介质既包括含氨、含硫酸盐雾的湿热废气，也包括TMA、WF6、TiCl4等易燃剧毒物质，还包括镍钴锰金属粉尘。运行规范的首要着力点在于把通风量、压差、温湿度、污染物浓度等参数从静态设计值转化为动态受控量，以匹配前驱体工艺的强波动特征。

（1）风量换气次数的分级锁定与实时校验。规范明确不同风险区采用差异换气基准：电解液暂存与注液间事故通风不小于12次/h，ALD操作间