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- | 2026-07-02 颁布
- | 2026-11-01 实施
ICS31.080.99
CCSL55
中华人民共和国国家标准
/—/:
GBT477492026IEC62047-112013
微机电系统()技术
MEMS
微机电固态材料线性热膨胀
系数测试方法
()—
Micro-electromechanicalsstemMEMStechnolo
ygy
Testmethodforcoefficientoflinearthermalexansionof
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